潔凈室靜壓差檢測(cè)的意義
潔凈室的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差，必要的壓差是控制漏氣方向的手段，是正常工作的基本條件。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄漏。病毒實(shí)驗(yàn)室或傳染病房，不允許室內(nèi)空氣向室外泄漏。
為了控制區(qū)域之間的漏氣方向，對(duì)于區(qū)域之間的氣壓差有較嚴(yán)格的要求。一般要求潔凈室內(nèi)的氣壓高于室外、或要求高級(jí)別潔凈室的氣壓高于低級(jí)別的潔凈室、或要求室內(nèi)的氣壓低于室外。工業(yè)潔凈室和一般生物潔凈室都是采用維持正壓。對(duì)于使用有毒、有害氣體或使用易燃易爆溶劑或有高粉塵操作的潔凈室，生產(chǎn)致敏性藥物、高活性藥物的生物潔凈室以及其他有特殊要求的生物潔凈室需要維持負(fù)壓。所以測(cè)定潔凈室的氣壓差很重要。 潔凈室壓差檢測(cè)的目的是為了測(cè)定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)（外）氣流間被污染。當(dāng)不同空氣潔凈度等級(jí)或產(chǎn)品生產(chǎn)工藝性質(zhì)不同的房間之間按規(guī)定維持一定的靜壓差時(shí)，相鄰潔凈室之間如果靜壓差過(guò)大或因建造原因帶來(lái)的縫隙，將會(huì)造成空氣泄漏，嚴(yán)重時(shí)會(huì)使?jié)崈羰覂?nèi)的氣流紊亂，所以潔凈室之間的靜壓差范圍 5～20Pa，并應(yīng)采取可行的技術(shù)措施控制潔凈室之間的靜壓差。
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